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XY级空气轴承

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XY级空气轴承,也叫气浮导轨,气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。因其误差均化作用,可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。通常与伺服驱动,传感器组成闭环系统,实现高精度位移定位。气浮导轨在测量仪器、精密机械中得到了广泛的应用...
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